真空區(qū)域劃分
真空區(qū)域劃分
為實(shí)用上便利起見，人們常把真空度粗劃為幾個區(qū)段，根據(jù)GB/T3163—93，真空區(qū)域大致劃分如下
低真空 105Pa～102Pa 中真空 102Pa～10-1Pa
高真空 10-1Pa～10-5Pa 超高真空 ＜10-5Pa
隨著真空技術(shù)的發(fā)展，在更低壓力下，氣體空間的物理特性有了新的特點(diǎn)，真空獲得和真空測量有了新的手段，區(qū)域劃方法如下
低真空 105Pa～102Pa 中真空 102Pa～10-1Pa
高真空 10-1Pa～10-5Pa 超高真空 10-5Pa～10-9Pa
極高真空 ＜10-9Pa
